Sensor for determining humidity

Capteur permettant de mesurer l'humidité

Abstract

L'invention concerne un capteur (100) qui permet de mesurer l'humidité. Le capteur selon l'invention comprend un substrat (10) sur lequel sont déposées des électrodes en forme de structures interdigitées (11) entourant des espaces vides (12). Le capteur précité (100) combine les exigences d'intégration, par une mémorisation des valeurs instantanées, à l'intégration fonctionnelle d'un capteur (100) et d'un élément mémoire. La totalité de l'énergie nécessaire au capteur, y compris à la mémoire, est extraite de l'environnement, le capteur fonctionnant par conséquent de manière complètement passive. A cet effet, les structures interdigitées (11) et les espaces vides (12) sont recouverts d'une couche de chlorure hygroscopique (13) et les espaces vides (12) sont en outre pourvus d'une structure hydrophile à base de chromate.
The invention relates to a sensor (100) for determining humidity by means of a substrate (10) on which electrodes are deposited in the form of interdigital structures (11) which enclose gaps (12). For rendering a sensor (100) available which combines the requirement of integration by storage of the instantaneous values with a functional integration of sensor (100) and storage element, which completely takes the required energy for the sensor including the memory from the environment and thus works completely passively, the invention proposes for the interdigitalstructures (11) and the gaps (12) to be covered by a hygroscopic chloride layer (13) and the gaps (12) additionally to have a hydrophilic chromate based structure.

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Patent Citations (5)

    Publication numberPublication dateAssigneeTitle
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